韩国Jesagi Hankook品牌JSPCS-750等离子清洗设备Plasma cleaner按照腔体大小，其产量将改变。JSPCS系列没有 RF(13.56MHz) Power Supply的匹配点无法寻找的问题情况(RF power以高频进行·PLASMA 放电，PLASMA放电条件变化的情况通过一定时间后行腔内部的异物质或泄漏真空导致真空压力产生变化会造成匹配点无法寻找现象的频繁发生。)

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