产品简介：
eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的中空纤维透气膜补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的灰尘再次附着和基板图形的防 静电破坏的效果。
如果您需要帮助，不要犹豫，请告诉我们！我们的专家将会通过电话或电子邮件与你联系。电子邮件
产品详情：
Anti-static unit/防静电单元装置原理
通过调整用二氧化碳溶解模组(参照右上图)生成的二氧化碳饱和水和超纯水的混合比率，可调节超纯水的电阻率值。
CO2溶解原理
DIW在模组内的中空纤维膜内部流动。其间，从中空纤维膜外侧CO2溶入DIW内。溶解的二氧化碳在DIW内发生离子化，可使DIW具有导电性，消除静电。由于使用微细中空纤维膜束，可以有效获得二氧化碳溶解所需要的表面积。eFLOW2. 3A*型装载有两个二氧化碳溶解模组。
Anti-static unit/防静电单元定制规格·装置
清洁规格(流量～30L/min);低电阻率(0.025～0.05MΩ·cm)型;小型·电气部分离型;大流量(100 L/min)型;其他 可定制。
Anti-static unit/防静电单元主要用途
• 掩模、网袋的清洗• 洗涤器清洗• 高压喷射清洗• 切割工序的清洗• 槽清洗
Anti-static unit/防静电单元性能参数
P Series可安装在符合EIA（美国电子工业协会）规格的支架上。1AP型为标准机，连接部全清洁规格，2AP型为选购件，可对应全清洁规格。
| 产品名称 | 处理流量（L/min） | 模组 |
| eFLOW 1AP-B02 |
1-16 |
PF-001L-NA 1个 1module |
| eFLOW 2AP-B01 |
5-30 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| eFLOW 3AP-B01 |
10-50 | PF-001L-ND3 2个 2modules |
| eFLOW 1AC-P201 |
1-16 | PF-001L-NA 1个 1module |
| eFLOW 2AC-P201 |
5-30 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| eFLOW 3AC-P201 |
10-50 | PF-001L-ND3 2个 2modules |