晶圆储存箱用于晶圆的安全储存和运输。 在运输过程中，晶圆载具移动和晶圆颤动可能会导致颗粒产生。 能够使用相同的盒子和存储晶圆，减少摩擦和污染风险，用于在工艺之间转移或调度，不能用于化学工艺。

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