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硅片抛光液工艺应用参数
型号
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ecosil®WP100
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ecosil®WP200
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ecosil®WP300
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ecosil®WP500
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固含量（%）
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15 ~18
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14~16
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19~22
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19~22
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颗粒尺寸（nm）
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70.0 ± 10.0
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20.0 ± 5.0
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80.0 ± 10.0
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100.0 ± 20.0
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粘度（20℃）
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< 5
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< 5
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< 5
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< 5
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比重（20℃）
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1.10 ± 0.02
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1.08 ± 0.02
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1.12 ± 0.02
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1.12 ± 0.02
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pH ( 20℃)
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11.3 ± 5.0
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11.3 ± 5.0
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11.3 ± 5.0
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11.3 ± 5.0
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