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晶圆抛光粘合剂特征
•SPA系列：蓝宝石晶片抛光用粘合剂；
•高软化点和优异的耐热性；
•无粘合性；
•优异的旋涂性能。
晶圆抛光粘合剂工艺应用参数
型号
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SPA-140
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SPA-230N
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成分
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天然树脂酯
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天然树脂酯
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外貌
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蓝色液体
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蓝色液体
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固含量（%）
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40 ± 0.5
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40 ± 0.5
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粘度(cps 25℃)
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5~10
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5~10
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比重（25℃）
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0.87 ~0.89
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0.87 ~0.89
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酸值（mgKOH/g）
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70~75
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70~75
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软化点（℃）
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85~90
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85~90
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溶剂
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2-丙醇 (IPA)
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1-丙醇（正丙醇）
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