序号 |
项目 |
规格 |
1 |
Material 材料 |
High Purity MonocystallineAl₂O₃(≥99.996%) |
2 |
Orientation 表面晶向 Cto M |
C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; |
3 |
Orientation 表面晶向 C to A |
0.00±0.1° |
4 |
Primary Flat to 主定位边晶向A-plane（11-20） |
A-plane ± 0.2° |
5 |
Diameter 直径 |
50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
6 |
Thickness 厚度 |
420~440um, 640-660um，1300mm |
7 |
Flat Length 平边宽 |
16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
8 |
Edge profile 倒边 |
R倒角 |
9 |
TTV |
≤5um |
10 |
BOW |
0~-10um |
11 |
Warp |
≤15um |
12 |
Front Side Roughness 正面粗糙度 |
＜0.3nm |
13 |
LTV |
≤1.8um |
14 |
R向（r-plane） |
R9 |
15 |
Back Side Roughness 背面粗糙度 |
0.8-1.2um |
16 |
Laser Mark 激光标记 |
背面打码/Back side |
17 |
Package 包装 |
25 片/盒，25 pcs/cassette |
扫描二维码 关注微信
